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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱：上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2025-06-11
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國(guó)用戶提供上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。
產(chǎn)品特性Product characteristics
專業(yè)儀器設(shè)備與測(cè)試方案供應(yīng)商——上海堅(jiān)融實(shí)業(yè)有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 堅(jiān)友（上海）測(cè)量?jī)x器有限公司JETYOO INSTRUMENTS，為原安捷倫Agilent【現(xiàn)是德KEYSIGHT】品牌技術(shù)經(jīng)理-堅(jiān)JET與吉時(shí)利KEITHLEY【現(xiàn)泰克Tektronix】品牌產(chǎn)品經(jīng)理-融YOO于2011年共同創(chuàng)辦，專注工業(yè)測(cè)試領(lǐng)域十六年，志在破舊立新！*進(jìn)口儀器設(shè)備大多數(shù)廠家僅在國(guó)內(nèi)設(shè)銷售點(diǎn)，但技術(shù)支持薄弱甚至沒(méi)有，而代理經(jīng)銷商也只做商務(wù)，不做售前技術(shù)支持/測(cè)試方案和售后使用培訓(xùn)/維修校準(zhǔn)的空白。我們的技術(shù)型銷售均為本科以上學(xué)歷，且均有10年以上測(cè)試行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，以我們*進(jìn)*的經(jīng)營(yíng)理念，與客戶互惠互利合作雙贏，重在協(xié)助用戶采購(gòu)與技術(shù)工程師的工作，提供較有競(jìng)爭(zhēng)力的供應(yīng)鏈管理與售前售后技術(shù)支持。堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國(guó)用戶提供上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。
上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用
2至6英寸樣品臺(tái)
高真空腔體
防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好
77K-675K高低溫環(huán)境
兼容IV/CV/RF測(cè)試
外置多探針臂，移動(dòng)行程大
經(jīng)濟(jì)實(shí)用，可無(wú)縫升級(jí)
極低溫測(cè)試
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測(cè)試
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。
腔體規(guī)格
樣品臺(tái)尺寸：2英寸/4英寸/6英寸
樣品固定：彈簧壓片
觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸
真空度：10-6torr
探針臂接口：4~6個(gè)探針臂接口
其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式：液氮/液氦/制冷機(jī)
溫度范圍：77K到573K/4.5K到573K
溫控精度：0.1K/0.01K/0.001K
穩(wěn)定性：±1K/±0.1K/±0.01K
外形：880mm長(zhǎng)*880mm寬*600mm高/980mm長(zhǎng)*980mm寬*600mm高
重量：約100千克/120千克
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率：16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程：水平360度轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
探針臂
X-Y-Z移動(dòng)行程：50mm*50mm*50mm
結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動(dòng)精度：10微米/1微米
線纜：同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子
頻率支持：DC-67GHZ
針尖直徑：0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
其他組件
真空組件
分子泵組/機(jī)械泵/離子泵
冷源組件
50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)
可選附件
超高溫配件
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤(pán)
光電測(cè)試配件
高壓測(cè)試配件
分子泵組
激光系統(tǒng)
氣敏測(cè)試配件
上海蘇州杭州合肥南京高溫加熱探針臺(tái)系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用
最大可用于8英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
可滿足500度高溫測(cè)試
溫度穩(wěn)定性高
兼容IV/CV/RF測(cè)試
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單合理，操作方便
探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制
臺(tái)體規(guī)格
樣品臺(tái)尺寸：4英寸/6英寸/8英寸
水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸
X-Y移動(dòng)精度：10微米/1微米
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置8個(gè)探針座
背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
溫度范圍：室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度
溫控精度：1度/0.1度/0.01度
穩(wěn)定性：±1度/±0.1度
外形尺寸：400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高/840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高
重量：約30千克/60千克/100千克
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率：16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
定位器
X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
線纜：同軸線/三軸線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子
針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅
可選附件
水冷裝置
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤(pán)
光電測(cè)試配件
高壓測(cè)試配件
顯微鏡快速傾仰裝置
激光系統(tǒng)
探針卡夾具
上海蘇州杭州合肥南京高低溫探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用
最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無(wú)結(jié)霜
優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量
可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡
可搭配多種類型顯微鏡
結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無(wú)縫升級(jí)
探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。
臺(tái)體規(guī)格
樣品臺(tái)尺寸：4英寸/6英寸/8英寸
水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸
X-Y移動(dòng)精度：10微米/1微米
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置8個(gè)探針座
背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
溫度范圍：室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度
溫控精度：1度/0.1度/0.01度
穩(wěn)定性：±1度/±0.1度
外形尺寸：400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高/840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高
重量：約30千克/60千克/100千克
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率：16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
定位器
X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
線纜：同軸線/三軸線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子
針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅
可選附件
加熱臺(tái)
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤(pán)
光電測(cè)試配件
高壓測(cè)試配件
顯微鏡快速傾仰裝置
激光系統(tǒng)
探針卡夾具
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