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上海堅(jiān)融實(shí)業(yè)實(shí)驗(yàn)納米級(jí)材料和器件開(kāi)發(fā)測(cè)試方案

日期：2014-06-13瀏覽：2280次

納米級(jí)材料和器件的制造通常始于化學(xué)、生物學(xué)或半導(dǎo)體器件 / 微電子實(shí)驗(yàn)室。納米級(jí)材料和器件的電氣測(cè)量不僅揭示了電特性，還揭示了納米微粒的狀態(tài)密度等一般特性。這些基本特性可用于預(yù)測(cè)和控制物理特性，例如抗拉強(qiáng)度、顏色以及電導(dǎo)性和導(dǎo)熱性。然而，進(jìn)行有意義的測(cè)量需要高靈敏度的儀器以及復(fù)雜的探頭技術(shù)。于納米技術(shù)研究的儀器不斷增加，但是用戶必須了解所需的測(cè)量類(lèi)型，以及哪種測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)將增加速度和準(zhǔn)確度。上海堅(jiān)融實(shí)業(yè)有限公司致力于實(shí)驗(yàn)納米級(jí)材料和器件的開(kāi)發(fā)測(cè)試方案，芝加哥大學(xué)K. Elteto 和 X.M. Lin指出由一系列金納米粒子形成的器件開(kāi)發(fā)過(guò)程中，類(lèi)似納米線、碳納米管和納米晶體的結(jié)構(gòu)常常表現(xiàn)出與眾不同的特點(diǎn)。分析這些特點(diǎn)而不損壞*的結(jié)構(gòu)需要能對(duì)源進(jìn)行嚴(yán)格控制的系統(tǒng)，以防止器件自發(fā)熱。吉時(shí)利測(cè)量?jī)x器將這種嚴(yán)格控制與超快測(cè)量速度和靈敏度結(jié)合在靈活、模塊化的結(jié)構(gòu)中從而很容易適應(yīng)不斷變化的測(cè)試要求。

低電平脈沖測(cè)量涉及輸出電流脈沖并測(cè)量所產(chǎn)生的電壓。因?yàn)槊绹?guó)吉時(shí)利KEITHLEY6221/2812A的組合用于解決在低信號(hào)電平、低電平噪聲條件下的脈沖特性分析問(wèn)題。然而，6221/2182A恒流源納伏表組合與以往所有的測(cè)試配置在一些重要方面不相同。一個(gè)區(qū)別是所有脈沖測(cè)量都是差分 (或相對(duì)) 測(cè)量。這意味著會(huì)給測(cè)量信號(hào)增加誤差 (例如偏移、漂移、噪聲和熱電的 EMF) 的背景電壓被消除了。

由于熱電壓和儀表偏移產(chǎn)生的直流偏移會(huì)給測(cè)量的電壓帶來(lái)嚴(yán)重誤差。

使用 delta 模式測(cè)量技術(shù)消除偏移。

進(jìn)行相對(duì)測(cè)量消除偏移誤差。
測(cè)量的 delta 電壓對(duì)電流脈沖產(chǎn)生正確的電壓響應(yīng)。
兩點(diǎn) delta 模式測(cè)量的操作是輸出電流脈沖并且在每次脈沖之前和脈沖期間各進(jìn)行一次測(cè)量。得到這兩次測(cè)量的差值就消除了任何恒定的熱電偏移，保留了真實(shí)的電壓值。然而，兩點(diǎn)測(cè)量法不能消除隨時(shí)間漂移的熱電偏移。使用 delta 方法中的第三個(gè)測(cè)量點(diǎn)就能消除漂移的偏移量。

一種可選的第三個(gè)測(cè)量點(diǎn)能幫助消除移動(dòng)的偏移量。
第三個(gè)測(cè)量點(diǎn)是可選的，但是并不可取。例如，取決于器件的定時(shí)特性，如果輸出的電流脈沖對(duì)器件有長(zhǎng)期效應(yīng)，那么由于 DUT 脈沖帶來(lái)的熱量，用于取消移動(dòng)偏移的第三測(cè)量點(diǎn)可能包含誤差，因此弊大于利。

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